概要
新光電気のセラミック静電チャックは、エッチング装置やCVD装置等の半導体製造装置用として幅広く使用されています。セラミックの焼成から加工、組立および検査の一貫生産による強みを活かし、高品質、低価格、短納期を実現し、お客様の最先端のニーズにあわせた静電チャックを提供しています。
特徴
- 材質：アルミナセラミックス（クーロンタイプ・ジョンソンラーベックタイプ）
- 寸法：最大寸法 φ300 mm
- 板厚：0.8 mm ～ 10.0 mm
- 使用温度：－20℃ ～ ＋200℃
- 表面加工：表面溝加工、エンボス加工および任意の表面粗度調整可能
- その他：ヒータータイプ可能
構造
用途
- 半導体製造（ドライエッチング装置、プラズマアッシャ装置、CVD装置、スパッタ装置）
- 搬送用装置
