新光電気工業株式会社
製品・サービス

各種コンポーネント

セラミック静電チャック

ESC

当社のセラミック静電チャックは、エッチング装置、CVD装置等の半導体製造装置用からLCD製造装置用まで、幅広く使用されています。
セラミックの焼成から加工および組立、検査の一貫生産による強みを生かし、高品質、低価格、短納期を実現し、お客様の最先端のニーズに合わせた静電チャックをご提供しています。

コンセプト

  • お客様のニーズに合わせた最先端かつ最適なセラミック静電チャックを、当社が長年培って来た独自の技術により、ご使用となる装置に最適な設計および加工でご提供します。

特徴

  • 材質 : アルミナセラミックス
  • 寸法 : 最大寸法 φ450 mm
  • 板厚 : 0.8 〜 15.0 mm
  • 使用温度 : −20℃ 〜 +300℃(条件による)
  • 表面加工 : ヘリウムによるウェハ冷却を最適化するための表面溝加工、エンボス加工、および任意の表面粗度調整が可能
  • その他 : ヒーター内蔵タイプ可能

構造

ESC構造

用途

  • 半導体プロセス用 : ドライエッチング装置、プラズマアッシャ装置、CVD装置、スパッタ装置
  • FPD用 : 液晶注入貼り合わせ装置用、ドライエッチング用
  • 搬送用
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