セラミック静電チャック | 製品情報 | 新光電気工業

半導体製造装置向け製品

セラミック静電チャック

セラミック静電チャック

概要

新光電気のセラミック静電チャックは、エッチング装置やCVD装置等の半導体製造装置用として幅広く使用されています。セラミックの焼成から加工、組立および検査の一貫生産による強みを活かし、高品質、低価格、短納期を実現し、お客様の最先端のニーズにあわせた静電チャックを提供しています。

特徴

  • 材質:アルミナセラミックス(クーロンタイプ・ジョンソンラーベックタイプ)
  • 寸法:最大寸法 φ300 mm 
  • 板厚:0.8 mm 10.0 mm 
  • 使用温度:-20℃ ~ +200℃
  • 表面加工:表面溝加工、エンボス加工および任意の表面粗度調整可能
  • その他:ヒータータイプ可能

構造

セラミック静電チャック.png

用途

  • 半導体製造(ドライエッチング装置、プラズマアッシャ装置、CVD装置、スパッタ装置)
  • 搬送用装置